Structures of Pt/Ti/SiO2/Al2O3 multilayer film annealed in various ambients and their temperature coefficient of resistance

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Hyōmen gijutsu 2002, Vol.53 (5), p.346-353
Hauptverfasser:	HANZAWA, Noriko, TOMONARI, Kenji, INOUE, Shin-Ichi, YAMAGISHI, Kiyoshi, AOKI, Yoshihira, GOTOH, Yoshihiko
Format:	Artikel
Sprache:	jpn
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	0915-1869