Depth profiling in amorphous and microcrystalline silicon by transient photoconductivity techniques
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Veröffentlicht in: | Journal of physics. Condensed matter 2002-07, Vol.14 (28), p.6909-6915, Article 302 |
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Hauptverfasser: | , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0953-8984 1361-648X |
DOI: | 10.1088/0953-8984/14/28/302 |