MEMS-micropumps: A review : Pump Analysis and Design

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of fluids engineering 2002, Vol.124 (2), p.384-392
Hauptverfasser: NGUYEN, Nam-Trung, XIAOYANG HUANG, TOH KOK CHUAN
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0098-2202
1528-901X