A comparison of laser- and furnace-annealed polysilicon structure

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Semiconductor science and technology 2002-01, Vol.17 (1), p.47-54
Hauptverfasser:	Parr, Andrea A, Gill, Kelly, Gardiner, Derek J, Hoyland, James D, Sands, David, Brunson, Kevin, Carline, Roger T
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Elemental semiconductors and insulators Exact sciences and technology Infrared and raman spectra and scattering Optical properties and condensed-matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation Physics
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