Dependence of the stress of c-BN films on the major deposition parameters: theoretical and experimental studies

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KLETT, A, FREUDENSTEIN, R, KULISCH, W
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: structure, mechanical and thermal properties Exact sciences and technology Mechanical and acoustical properties Physical properties of thin films, nonelectronic Physics Surfaces and interfaces thin films and whiskers (structure and nonelectronic properties)
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