Bidirectional reflectance distribution function of rough silicon wafers

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	International journal of thermophysics 2001-07, Vol.22 (4), p.1311-1326
Hauptverfasser:	SHEN, Y. J, ZHANG, Z. M, TSAI, B. K, DEWITT, D. P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Condensed matter: electronic structure, electrical, magnetic, and optical properties Elemental semiconductors and insulators Exact sciences and technology Optical properties and condensed-matter spectroscopy and other interactions of matter with particles and radiation Optical properties of specific thin films Physics
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