3D measurement of micromechanical devices vibration mode shapes with a stroboscopic interferometric microscope: Microsystems Metrology

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Optics and lasers in engineering 2001, Vol.36 (2), p.77-101
Hauptverfasser:	PETITGRAND, S, YAHIAOUI, R, DANAIE, K, BOSSEBOEUF, A, GILLES, J. P
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Exact sciences and technology Instruments, apparatus, components and techniques common to several branches of physics and astronomy Interferometers Optical instruments, equipment and techniques Physics
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