Photo-, cathodo-, and electroluminescence studies of sputter deposited AlN:Er thin films

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	DIMITROVA, V. I, VAN PATTEN, P. G, RICHARDSON, H, KORDESCH, M. E
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
Schlagworte:	Cross-disciplinary physics: materials science rheology Deposition by sputtering Exact sciences and technology Materials science Methods of deposition of films and coatings film growth and epitaxy Physics
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