Chemical States And Electrical Properties of a High-K Metal Oxide/Silicon Interface With Oxygen-Gettering Titanium-Metal-Overlayer

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2007-08, Vol.89
Hauptverfasser:	Seo, K.-I., /Stanford U., Materials Sci. Dept, Lee, D.-I., Pianetta, P., /SLAC, SSRL, Kim, H., /Sungkyunkwan U., Saraswat, K.C., /Stanford U., Elect. Eng. Dept, McIntyre, P.C.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	CHEMICAL STATE CLASSICAL AND QUANTUM MECHANICS, GENERAL PHYSICS ELECTRICAL PROPERTIES Other,OTHER PHYSICS
Online-Zugang:	Volltext
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