Gas Breakdown in an Atmospheric Pressure Radio-Frequency Capacitive Plasma Source

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Journal of applied physics 2001-01, Vol.89 (1)
Hauptverfasser:	Park, Jaeyoung, Henins, I., Herrmann, H.W., Selwyn, G.S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	70 PLASMA PHYSICS AND FUSION TECHNOLOGY ATMOSPHERIC PRESSURE BREAKDOWN ENVIRONMENTAL SCIENCES PLASMA
Online-Zugang:	Volltext
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