Characterization of thermal distortion effects on beamline optics for EUV interferometry and soft x-ray microscopy

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Review of scientific instruments 1996-01, Vol.67
Hauptverfasser:	Beguiristain, H. Raul, Underwood, James H., Koike, Masato, Batson, Phillip J., Medecki, Hector, Rekawa, S., Jackson, Keith H., Attwood, David T.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	ADVANCED LIGHT SOURCE ADVANCED LIGHT SOURCE ALS INTERFEROMETRY MICROSCOPY OPTICS PARTICLE ACCELERATORS
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!