Response to “Comment on ‘Effect of the electron energy distribution on total energy loss with argon in inductively coupled plasmas’” [Phys. Plasmas 22, 044701 (2015)]

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Physics of plasmas 2015-04, Vol.22 (4)
Hauptverfasser:	Kim, June Young, Kim, Young-Cheol, Kim, Yu-Sin, Chung, Chin-Wook
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	70 PLASMA PHYSICS AND FUSION TECHNOLOGY ARGON Electron energy distribution ELECTRONS Energy dissipation ENERGY LOSSES ENERGY SPECTRA Inductively coupled plasma PLASMA Plasma physics
Online-Zugang:	Volltext
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