Longitudinal bulk acoustic mass sensor

A polycrystalline silicon longitudinal bulk acoustic cantilever is fabricated and operated in air at 51 MHz. A mass sensitivity of 100 Hz/fg ( 1   fg = 10 − 15   g ) is obtained from the preliminary experiments where a minute mass is deposited on the device by means of focused ion beam. The total no...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Applied physics letters 2009-07, Vol.95 (3), p.033506-033506-3
Hauptverfasser:	Hales, J. H., Teva, J., Boisen, A., Davis, Z. J.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Schlagworte:	AIR CLASSICAL AND QUANTUM MECHANICS, GENERAL PHYSICS ION BEAMS NOISE POLYCRYSTALS SEMICONDUCTOR MATERIALS SENSORS SILICON SOUND WAVES
Online-Zugang:	Volltext
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