Nanoscale Structural and Chemical Properties of Ferroelectric Aluminum Scandium Nitride Thin Films

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of physical chemistry. C 2021-06, Vol.125 (26)
Hauptverfasser:	Musavigharavi, Pariasadat, Meng, Andrew C., Wang, Dixiong, Zheng, Jeffery, Foucher, Alexandre C., Olsson, III, Roy H., Stach, Eric A.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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