White-light interferometry for early-stage metal oxide growth characterization

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Measurement science & technology 2020-07, Vol.31 (10)
Hauptverfasser: Idell, Yaakov, Au, Brian, Jaycox, Adam, Siekhaus, Wigbert, Saw, Cheng, Blobaum, Kerri, McLean II, William
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0957-0233
1361-6501