Role of neutral transport in aspect ratio dependent plasma etching of three-dimensional features
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Veröffentlicht in: | Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films Vacuum, surfaces, and films, 2017-09, Vol.35 (5) |
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Hauptverfasser: | , , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Schlagworte: | |
Online-Zugang: | Volltext |
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Zusammenfassung: | Not provided. |
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ISSN: | 0734-2101 1520-8559 |
DOI: | 10.1116/1.4973953 |