Atomic Layer Deposition of Fe 2 O 3 Using Ferrocene and Ozone

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Journal of physical chemistry. C 2011-03, Vol.115 (10), p.4333-4339
Hauptverfasser: Martinson, Alex B. F., DeVries, Michael J., Libera, Joseph A., Christensen, Steven T., Hupp, Joseph T., Pellin, Michael J., Elam, Jeffrey W.
Format: Artikel
Sprache:eng
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Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:1932-7447
1932-7455
DOI:10.1021/jp110203x