Atomic Layer Deposition of Fe 2 O 3 Using Ferrocene and Ozone
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Veröffentlicht in: | Journal of physical chemistry. C 2011-03, Vol.115 (10), p.4333-4339 |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 1932-7447 1932-7455 |
DOI: | 10.1021/jp110203x |