A platform to parallelize planar surfaces and control their spatial separation with nanometer resolution

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Review of scientific instruments 2012-10, Vol.83 (10)
Hauptverfasser: Ganjeh, Y., Song, B., Pagadala, K., Kim, K., Sadat, S., Jeong, W., Kurabayashi, K., Meyhofer, E., Reddy, P.
Format: Artikel
Sprache:eng
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:0034-6748
1089-7623
DOI:10.1063/1.4754643