A platform to parallelize planar surfaces and control their spatial separation with nanometer resolution
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Veröffentlicht in: | Review of scientific instruments 2012-10, Vol.83 (10) |
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Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
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Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0034-6748 1089-7623 |
DOI: | 10.1063/1.4754643 |