Scanning electron microscope measurement of width and shape of 10 nm patterned lines using a JMONSEL-modeled library

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Ultramicroscopy 2015-07, Vol.154 (C), p.15-28
Hauptverfasser:	Villarrubia, J.S., Vladár, A.E., Ming, B., Kline, R.J., Sunday, D.F., Chawla, J.S., List, S.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!