Copy of IN-PLANEMEMS-BASED NANO-GACCELEROMETER WITH SUB-WAVELENGTH OPTICAL RESONANT SENSOR

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Sensors and actuators. A. Physical. 2008-01, Vol.145-146
Hauptverfasser:	Krishnamoorthy, Uma, Olsson, Roy H., Baker, Michael, Swiler, Thomas P., Clews, Peggy J., Carr, Dustin W., Bogart, Greg R.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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