Enhanced By-product Desorption via Laser Assisted Electron Beam Induced Deposition of W(CO)6 with Enhanced Conductivity and Resolution

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Nanotechnology 2013-01, Vol.24 (41)
Hauptverfasser:	Roberts, Nicholas, Gonzales, C M, Fowlkes, Jason Davidson, Rack, P. D.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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