MEMS Mirrors

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Xie, Huikai
Format:	Buch
Sprache:	eng
Schlagworte:	Deformable micromirrors Mathematics and Science MEMS mirror applications MEMS mirror arrays MEMS mirror control MEMS mirror modeling MEMS mirrors Physics thema EDItEUR
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:	MEMS Mirrors
DOI:	10.3390/books978-3-03842-868-8