화학기상증착 코팅로의 용량에 따른 탄소 코팅 SiOx의 물리적 특성 변화 분석

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Biuletyn Uniejowski 2022, Vol.55 (6), p.441-447
Hauptverfasser:	맹석주(Seokju Maeng), 곽우진(Woojin Kwak), 박헌수(Heonsoo Park), 김용태(Yong-Tae Kim), 최진섭(Jinsub Choi)
Format:	Artikel
Sprache:	kor
Online-Zugang:	Volltext
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