Improvement of PS Measurement by Phase Compensation Method and Profile Fitting Method in White Light Phase Shifting Interferometry

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Current optics and photonics 2018, Vol.2 (4), p.340-347
Hauptverfasser:	Dong Hun Ku, Sun Mi Lee, Ha Na Roh, Tai-Wook Kim, Heui Jae Pahk
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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