A High Density MIM Capacitor in a Standard CMOS Process

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of semiconductor technology and science 2001, Vol.1 (3), p.49-52
1. Verfasser:	Christian Rye Iversen
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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