Thermopiezoelectric Cantilever for Probe-Based Data Storage System

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Journal of semiconductor technology and science 2006, Vol.6 (4), p.293-298
Hauptverfasser:	Seongsoo Jang, Won-Hyeog Jin, Young-Sik Kim, Il-Joo Cho, DaeSung Lee, Hyo-Jin Nam, Jong. U. Bu
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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