Saturation of front propagation in a reaction diffusion process describing plasma damage in porous low-k materials

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	PHYSICAL REVIEW B 2011, Vol.83 (24), p.245320
Hauptverfasser:	Safaverdi, S., Barkema, G.T., Kunnen, E., Urbanowicz, A.M., Maes, C.
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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