Surface Micromachined Pressure Sensor with Internal Substrate Vacuum Cavity

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ETRI journal 2016-08, Vol.38 (4), p.1-10
Hauptverfasser:	Chang Han Je, Chang Auck Choi, Sung Q Lee, Woo Seok Yang
Format:	Artikel
Sprache:	kor
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	1225-6463