Actinic inspection of the extreme ultraviolet optical parameters of lithographic materials enabled by a table-top, coherent extreme ultraviolet source

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3 2024-10, Vol.23 (4)
Hauptverfasser:	Dorney, Kevin M, Holzmeier, Fabian, Kissoon, Nicola N, Larsen, Esben W, Singh, Dhirendra P, Arvind, Shikhar, Santra, Sayantani, Fallica, Roberto, Timmermans, Marina Y, Pollentier, Ivan, Makhotkin, Igor A, Philipsen, Vicky, De Gendt, Stefan, Fleischmann, Claudia, van der Heide, Paul A.W, Petersen, John S
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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