Low-loss α-tantalum coplanar waveguide resonators on silicon wafers: fabrication, characterization and surface modification

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	MATERIALS FOR QUANTUM TECHNOLOGY 2024-06, Vol.4 (2)
Hauptverfasser:	Lozano, D.P, Mongillo, M, Piao, X, Couet, S, Wan, D, Canvel, Y, Vadiraj, A.M, Ivanov, Ts, Verjauw, J, Acharya, R, Van Damme, J, Mohiyaddin, F.A, Jussot, J, Gowda, P.P, Pacco, A, Raes, B, van de Vondel, J, Radu, I.P, Govoreanu, B, Swerts, J, Potocnik, A, De Greve, K
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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