Low-Temperature Dechlorosilylation Chemistry for Area-Selective Deposition of Ge2Sb2Te5 and Its Mechanism in Nanopatterns

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	CHEMISTRY OF MATERIALS 2024-06, Vol.36 (12), p.5943-5952
Hauptverfasser:	Sinha, Jyoti, Gallis, Leonidas, Clerix, Jan-Willem J, van der Veen, Marleen, Innocent, Jerome, Illiberi, Andrea, Givens, Michael, Nyns, Laura, Delabie, Annelies
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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