Growth mechanisms of interfacial carbon layers at the epitaxial Al2O3(0001)/Cu(111) interface as application for epitaxial film lift-off

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A 2023-07, Vol.41 (4)
Hauptverfasser:	Tsai, Hung-Chieh, Marien, Brecht, Chancerel, Francois, De Gendt, Stefan, Brems, Steven
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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