MULTIPLE PARAMETER DECOUPLING USING A SINGLE RESONANT MEMS SENSOR VIA BLUE SIDEBAND EXCITATION

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Xi, Jingqian, Xu, Lei, Wang, Yuan, Hu, Fangjing, Li, Chengxin, Wang, Linlin, Liu, Huafeng, Wang, Chen, Kraft, Michael, Zhao, Chun
Format:	Tagungsbericht
Sprache:	eng
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