Deep electron traps in HfO2-based ferroelectrics: (Al/Si-doped) HfO2 versus HfZrO4
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Veröffentlicht in: | SOLID-STATE ELECTRONICS 2022-08, Vol.194 |
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Hauptverfasser: | , , , |
Format: | Artikel |
Sprache: | eng |
Online-Zugang: | Volltext |
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ISSN: | 0038-1101 |