The role of atomic oxygen in the decomposition of self-assembled monolayers during area-selective atomic layer deposition

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	APPLIED SURFACE SCIENCE 2022-06, Vol.586
Hauptverfasser:	Brady-Boyd, A, O'Connor, R, Armini, S, Selvaraju, V, Pasquali, M, Hughes, G, Bogan, J
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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