Electromechanical Equivalent Circuit Model for Axisymmetric PMUTs With Elastic Boundary Conditions

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	JOURNAL OF MICROELECTROMECHANICAL SYSTEMS 2022-06, Vol.31 (3), p.457-472
Hauptverfasser:	Chare, Christopher, Gijsenbergh, Pieter, Jeong, Yongbin, Heremans, Paul, Cheyns, David, Genoe, Jan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	1057-7157