300mm wafer level WS2 p-MOS capacitor Characterization, Simulation, and Analysis

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Koladi Mootheri, Vivek, Okuyama, Atsushi, Gaur, Abhinav, Smets, Quentin, Schram, Tom, Asselberghs, Inge, Heyns, Marc, Radu, Iuliana, Lin, Dennis
Format: Tagungsbericht
Sprache:eng
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