Advanced Interconnects: Materials, Processing, and Reliability

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	ECS Journal of Solid State Science and Technology 2015, Vol.4 (1), p.Y1-Y4
Hauptverfasser:	Baklanov, Mikhail R, Adelmann, Christoph, Zhao, Larry, De Gendt, Stefan
Format:	Artikel
Sprache:	eng
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
ISSN:	2162-8769