Deep Reactive Ion Etching

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Lindroos Veikko, Tilli Markku, Franssila Sami, Paulasto-Kröckel Mervi, Airaksinen Veli-Matti, Motooka Teruaki
Format:	Buchkapitel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Machine Design Mechanics & Mechanical Engineering Micro Nanofabrication & Manufacturing Nanotechnology
Online-Zugang:	Volltext
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