Silicon Based BioMEMS: Micromachining Technologies

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Lindroos Veikko, Lehto Ari, Tilli Markku, Motooka Teruaki
Format:	Buchkapitel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Machine Design Mechanics & Mechanical Engineering Micro Nanofabrication & Manufacturing Nanotechnology
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.1016/B978-0-8155-1594-4.00029-2