Advances in Plasma Synthesis of UNCD Films

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Shenderova Olga A, Gruen Dieter M
Format:	Buchkapitel
Sprache:	eng
Schlagworte:	Chemistry & Chemical Engineering Electronic Devices Electronics & Semiconductors Micro Nanofabrication & Manufacturing Nanotechnology Physical Chemistry
Online-Zugang:	Volltext
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Beschreibung
Zusammenfassung:
DOI:	10.1016/B978-1-4377-3465-2.00002-5