기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 기술
이 글에서는 나노박막의 역학적 거동 및 파괴 거동의 이해를 기초로, 기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 공정, 장비 및 이의 응용에 관해 설명한다.
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| Veröffentlicht in: | Kigye chŏnŏl = Journal of the Korean Society of Mechnical Engineers 2016, Vol.56 (4), p.41-44 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | kor |
| Online-Zugang: | Volltext |
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| Zusammenfassung: | 이 글에서는 나노박막의 역학적 거동 및 파괴 거동의 이해를 기초로, 기계적 손상 없이 나노박막을 전사하는 공정, 장비 및 이의 응용에 관해 설명한다. |
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| ISSN: | 1226-7287 |