마이크로/나노 구조물의 비전통적인 물성 평가 기술

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Kigye chŏnŏl = Journal of the Korean Society of Mechnical Engineers 2009, Vol.49 (5), p.22-27
Hauptverfasser:	김재현, 현승민, 장봉균, 최현주, 박정민, 이학주, 최병익
Format:	Artikel
Sprache:	kor
Online-Zugang:	Volltext
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