Simulation von Plasma-Beschichtungsprozessen

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2010-05, Vol.22 (3), p.31-34
Hauptverfasser:	Pflug, Andreas, Siemers, Michael, Schwanke, Christoph, Szyszka, Bernd
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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