Abscheidung, Charakterisierung und Anwendung von Plasma-Polymerschichten auf HMDSO-Basis

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2006-08, Vol.18 (4), p.12-18
Hauptverfasser:	Jacoby, B., Bock, W., Haupt, M., Hilgers, H., Kopnarski, M., Molter, J., Oehr, C., Rühle, T., Wahl, M.
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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