Ellipsometrische Charakterisierung von C-Schutzschichten für die Speichertechnologie

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2001-10, Vol.13 (5), p.277-285
Hauptverfasser:	Ohr, Ralph, Neuhüuser, Marc, Hilgers, Heinz, Pokrowsky, Peter, Schönhense, Gerd, Dittmar, Georg
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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