Eigenspannungsentwicklung und mechanisches Verhalten von c-BN-Schichten

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2001-06, Vol.13 (3), p.161-170
Hauptverfasser:	Bobeth, M., Möller, J., Pompe, W., Reiche, D., Trommer, O., Ullrich, A.
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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