Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung

Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2008-02, Vol.20 (1), p.28-34
Hauptverfasser: Kupfer, Hartmut, Richter, Frank, Kleinhempel, Ronny, Blüthner, Ralf, Raubold, Thomas
Format: Artikel
Sprache:ger
Online-Zugang:Volltext
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page 34
container_issue 1
container_start_page 28
container_title Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten
container_volume 20
creator Kupfer, Hartmut
Richter, Frank
Kleinhempel, Ronny
Blüthner, Ralf
Raubold, Thomas
description
doi_str_mv 10.1002/vipr.200800340
format Article
fullrecord <record><control><sourceid>istex</sourceid><recordid>TN_cdi_istex_primary_ark_67375_WNG_NGN1M9ZP_2</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>ark_67375_WNG_NGN1M9ZP_2</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-LOGICAL-i108t-45d00166fe715a61c73cae8a955a6669d8af54397bd6bb2b4c5870f10c3224993</originalsourceid><addsrcrecordid>eNotjEtLAzEYAIMouFavnvsHUr-8N0dZ6lroQ7CieAnZbNKN1W1JtkX_vQU9DQPDIHRLYEIA6N0x7tOEApQAjMMZKoigFFMu-DkqQHOFQcm3S3SV8wecGpC8QKRKu5zxwm56P6Rdj6ch-O0wPvTteLZe4WfXRdcNtsmu87E99JtrdBHsZ_Y3_xyhl4fpunrE81U9q-7nOBIoB8xFC0CkDF4RYSVxijnrS6vFyaTUbWmD4EyrppVNQxvuRKkgEHCMUq41GyH894158N9mn-KXTT_Gpq2RiilhXpe1WdZLstDvT4ayX77BSKA</addsrcrecordid><sourcetype>Publisher</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>article</recordtype></control><display><type>article</type><title>Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung</title><source>Access via Wiley Online Library</source><creator>Kupfer, Hartmut ; Richter, Frank ; Kleinhempel, Ronny ; Blüthner, Ralf ; Raubold, Thomas</creator><creatorcontrib>Kupfer, Hartmut ; Richter, Frank ; Kleinhempel, Ronny ; Blüthner, Ralf ; Raubold, Thomas</creatorcontrib><identifier>ISSN: 0947-076X</identifier><identifier>EISSN: 1522-2454</identifier><identifier>DOI: 10.1002/vipr.200800340</identifier><language>ger</language><publisher>Weinheim: WILEY-VCH Verlag</publisher><ispartof>Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2008-02, Vol.20 (1), p.28-34</ispartof><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><link.rule.ids>314,780,784,27924,27925</link.rule.ids></links><search><creatorcontrib>Kupfer, Hartmut</creatorcontrib><creatorcontrib>Richter, Frank</creatorcontrib><creatorcontrib>Kleinhempel, Ronny</creatorcontrib><creatorcontrib>Blüthner, Ralf</creatorcontrib><creatorcontrib>Raubold, Thomas</creatorcontrib><title>Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung</title><title>Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten</title><addtitle>Vakuum in Forschung und Praxis</addtitle><issn>0947-076X</issn><issn>1522-2454</issn><fulltext>true</fulltext><rsrctype>article</rsrctype><creationdate>2008</creationdate><recordtype>article</recordtype><recordid>eNotjEtLAzEYAIMouFavnvsHUr-8N0dZ6lroQ7CieAnZbNKN1W1JtkX_vQU9DQPDIHRLYEIA6N0x7tOEApQAjMMZKoigFFMu-DkqQHOFQcm3S3SV8wecGpC8QKRKu5zxwm56P6Rdj6ch-O0wPvTteLZe4WfXRdcNtsmu87E99JtrdBHsZ_Y3_xyhl4fpunrE81U9q-7nOBIoB8xFC0CkDF4RYSVxijnrS6vFyaTUbWmD4EyrppVNQxvuRKkgEHCMUq41GyH894158N9mn-KXTT_Gpq2RiilhXpe1WdZLstDvT4ayX77BSKA</recordid><startdate>200802</startdate><enddate>200802</enddate><creator>Kupfer, Hartmut</creator><creator>Richter, Frank</creator><creator>Kleinhempel, Ronny</creator><creator>Blüthner, Ralf</creator><creator>Raubold, Thomas</creator><general>WILEY-VCH Verlag</general><scope>BSCLL</scope></search><sort><creationdate>200802</creationdate><title>Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung</title><author>Kupfer, Hartmut ; Richter, Frank ; Kleinhempel, Ronny ; Blüthner, Ralf ; Raubold, Thomas</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-LOGICAL-i108t-45d00166fe715a61c73cae8a955a6669d8af54397bd6bb2b4c5870f10c3224993</frbrgroupid><rsrctype>articles</rsrctype><prefilter>articles</prefilter><language>ger</language><creationdate>2008</creationdate><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Kupfer, Hartmut</creatorcontrib><creatorcontrib>Richter, Frank</creatorcontrib><creatorcontrib>Kleinhempel, Ronny</creatorcontrib><creatorcontrib>Blüthner, Ralf</creatorcontrib><creatorcontrib>Raubold, Thomas</creatorcontrib><collection>Istex</collection><jtitle>Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten</jtitle></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext</fulltext></delivery><addata><au>Kupfer, Hartmut</au><au>Richter, Frank</au><au>Kleinhempel, Ronny</au><au>Blüthner, Ralf</au><au>Raubold, Thomas</au><format>journal</format><genre>article</genre><ristype>JOUR</ristype><atitle>Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung</atitle><jtitle>Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten</jtitle><addtitle>Vakuum in Forschung und Praxis</addtitle><date>2008-02</date><risdate>2008</risdate><volume>20</volume><issue>1</issue><spage>28</spage><epage>34</epage><pages>28-34</pages><issn>0947-076X</issn><eissn>1522-2454</eissn><cop>Weinheim</cop><pub>WILEY-VCH Verlag</pub><doi>10.1002/vipr.200800340</doi><tpages>7</tpages></addata></record>
fulltext fulltext
identifier ISSN: 0947-076X
ispartof Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten, 2008-02, Vol.20 (1), p.28-34
issn 0947-076X
1522-2454
language ger
recordid cdi_istex_primary_ark_67375_WNG_NGN1M9ZP_2
source Access via Wiley Online Library
title Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2024-12-22T22%3A22%3A20IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-istex&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.genre=article&rft.atitle=Cross-Magnetron-Effekt%20und%20ITO-Schichtabscheidung&rft.jtitle=Vakuum%20in%20Forschung%20und%20Praxis%20:%20Zeitschrift%20f%C3%BCr%20Vakuumtechnologie,%20Oberfl%C3%A8achen%20und%20D%C3%BCnne%20Schichten&rft.au=Kupfer,%20Hartmut&rft.date=2008-02&rft.volume=20&rft.issue=1&rft.spage=28&rft.epage=34&rft.pages=28-34&rft.issn=0947-076X&rft.eissn=1522-2454&rft_id=info:doi/10.1002/vipr.200800340&rft_dat=%3Cistex%3Eark_67375_WNG_NGN1M9ZP_2%3C/istex%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true