Cross-Magnetron-Effekt und ITO-Schichtabscheidung

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 2008-02, Vol.20 (1), p.28-34
Hauptverfasser:	Kupfer, Hartmut, Richter, Frank, Kleinhempel, Ronny, Blüthner, Ralf, Raubold, Thomas
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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