Untersuchungen zu Zusammenhängen zwischen Schichtmorphologie und Herstellungsbedingungen an amorphen Siliziumnitridschichten

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Vakuum in Forschung und Praxis : Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflèachen und Dünne Schichten Oberflèachen und Dünne Schichten, 1992-09, Vol.4 (3), p.214-219
Hauptverfasser:	Zösch, Antje, Heberlein, Thomas, Feyer, Manfred, Wuttke, Werner
Format:	Artikel
Sprache:	ger
Online-Zugang:	Volltext
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